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本发明提供一种试样观察装置以及方法，关于试样观察装置，提供用户能够简单地提高缺陷检测相关的精度的技术。试样观察装置在试样观察处理之前进行的学习处理中，按由缺陷位置信息表示的缺陷位置，取得第一拍摄条件下的学习用低画质图像，根据拍摄张数的设定值...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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