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本发明提供一种排气网的制造方法、等离子体处理装置和排气网。所述排气网是在从等离子体处理装置的处理容器排出气体时使该气体通过的排气网，该排气网的制造方法的特征在于，包括：步骤a，准备多个金属板；步骤b，在所述多个金属板分别形成由多个六边形形状...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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