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本文中描述了用于确定目标轮廓的圆化轮廓、或用于掩模设计的其它的光刻有关轮廓的方法和系统。所述方法包括将轮廓表示转换成(i)在第一维度(例如，x)中的第一组轮廓点位置和(ii)在第二维度(例如，y)中的第二组轮廓点位置。基于所述第一组轮廓点位...
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