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本申请公开了一种晶圆检测移动平台。晶圆检测移动平台包括载物平台、气浮运动机构、位置检测机构、辅助芯片、主控芯片。其中，载物平台用于放置待检测晶圆或晶圆检测设备，且载物平台连接于气浮运动机构。且载物平台还连接于位置检测机构，以通过位置检测机构...
该专利属于苏州柏伦斯智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州柏伦斯智能科技有限公司授权不得商用。

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