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本申请公开带有气体保护的晶圆固定装置，属于晶圆加工设备技术领域，包括真空卡盘、旋转元件和气体保护罩，其中所述真空卡盘包括卡盘本体和转接轴，其中所述卡盘本体用于卡住晶圆，所述转接轴位于相对所述晶圆的另一端；所述旋转元件具有一旋转轴，所述旋转元...
该专利属于远山新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过远山新材料科技有限公司授权不得商用。

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