下载半导体结构的制造方法的技术资料

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提供半导体结构的制造方法。根据本公开的范例性方法包含接收鳍状结构,鳍状结构包含第一通道区与第二通道区及第一虚设栅极结构与第二虚设栅极结构,第一虚设栅极结构与第二虚设栅极结构分别设置于第一通道区与第二通道区的上方。此方法也包含将第一虚设栅极结...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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