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一种半导体结构包含从基底延伸且沿第一方向纵向定向的鳍片,其中鳍片包含半导体层堆叠,设置于基底上且沿与第一方向垂直的第二方向纵向定向的隔离部件,其中隔离部件邻近鳍片设置,及具有设置于半导体层堆叠上的顶部及与半导体层堆叠交错的底部的金属栅极结构...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构包含从基底延伸且沿第一方向纵向定向的鳍片,其中鳍片包含半导体层堆叠,设置于基底上且沿与第一方向垂直的第二方向纵向定向的隔离部件,其中隔离部件邻近鳍片设置,及具有设置于半导体层堆叠上的顶部及与半导体层堆叠交错的底部的金属栅极结构...