下载晶体管以及半导体装置与六方碳氮化硼层的制造方法的技术资料

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一种晶体管包括沟道层、栅极堆叠以及源极/漏极区。沟道层包括石墨烯层以及分散在石墨烯层中的六方氮化硼(hexagonal boron nitride,hBN)片。hBN片的排列方向(orientation)实质上对齐。栅极堆叠位于沟道层上。源...
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