下载一种离子源栅网及离子源的技术资料

文档序号:36005164

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本实用新型公开了一种离子源栅网,所述栅网包括若干等分区域,所述若干等分区域由栅网的圆心为起点,每个等分区域自圆心形成的扇形角度为(360/n)
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