下载波分复用器中阵列波导光纤与平板波导垂直度的提高方法的技术资料

文档序号:35980815

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本发明提供一种波分复用器中阵列波导光纤与平板波导垂直度的提高方法,包括如下步骤:S1、利用微纳通孔阵列制备方法制备输入平板波导和输出平板波导;S2、在输入平板波导和输出平板波导的轴向上分别放置CCD相机;S3、分别将输入平板波导、输出平板波...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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