【技术实现步骤摘要】
波分复用器中阵列波导光纤与平板波导垂直度的提高方法
[0001]本专利技术涉及微纳器件制备
，特别涉及一种波分复用器中阵列波导光纤与平板波导垂直度的提高方法。
技术介绍
[0002]波分复用器应用广泛，特别适用于做光通讯网络、光信息传输与处理系统、光谱测量、传感、激光水准仪件、集成光电器件的核心装置或关键部件。如图1所示，波分复用器一般由输入波导1、输出波导2、输入平板波导3、输出平板波导4和阵列波导5五部分构成。为实现最大化光束能量传递，减小光纤插入损耗，需要提高阵列波导光纤与输入/出平板波导之间的垂直度。现阶段，尚没有较好方案解决这一问题，所以寻求一种提高波分复用器中阵列波导光纤与输入/出平板波导垂直度的方法就显得尤为重要。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是为了克服已有技术的缺陷，提出一种波分复用器中阵列波导光纤与平板波导垂直度的提高方法，使阵列波导光纤与输入/出平板波导之间的垂直度满足最大化传递光束能量的要求。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用以下具体技术方案：
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种波分复用器中阵列波导光纤与平板波导垂直度的提高方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、利用微纳通孔阵列制备方法制备输入平板波导和输出平板波导；S2、在输入平板波导和输出平板波导的轴向上分别放置第一CCD相机和第二CCD相机；S3、在输入平板波导、输出平板波导、第一CCD相机和第二CCD相机上分别连接反射光栅；其中，第一反射光栅与第三反射光栅构成第一光栅对，第二反射光栅与第四反射光栅构成第二光栅对；S4、利用激光水准仪调节第一光栅对平行及第二光栅对平行的方法分别将输入平板波导与第一CCD相机、输出平板波导与第二CCD相机调至平行；S5、将阵列波导中光纤的输入端和输出端分别插进输入平板波导和输出平板波导内，利用第一CCD相机和第二CCD相机的成像面分别对光纤的输入端和输出端的出射面进行光斑成像，根据光斑位置将光纤的输入端与输入平板波导之间的夹角及将光纤的输出端与输出平板波导之间的夹角分别调整为直角。2.如权利要求1的波分复用器中阵列波导光纤与平板波导垂直度的提高方法，其特征在于，步骤S1具体包括如下步骤：S101、在基片上生长抗蚀层，并在抗蚀层上涂覆光刻胶并进行前烘；S102、利用紫外曝光显影方式在光刻胶的表面制作孔形光刻胶掩模；S103、先利用湿法刻蚀溶液将孔形光刻胶掩模的图形转移至抗蚀层，再利用深反应离子刻蚀方法对基片进行圆孔槽形的加工，形成输入平板波导和输出平板波导。3.如权利要求1的波分复用器中阵列波导光纤与平板波导垂直度的提高方法，其特征在于，在步骤S4中，调节第一光栅对平行的方法包括如下步骤：S41、调整第一反射光栅与第三反射光栅的姿态...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭鑫，焦庆斌，马振予，刘思琪，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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