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本发明实施例公开了一种双工器,所述双工器包括:形成于同一衬底上的发射滤波器和接收滤波器,所述发射滤波器和所述接收滤波器包括多个膜层形成的层叠结构,其中,所述发射滤波器的压电层和所述接收滤波器的压电层中掺杂元素,所述发射滤波器的压电层沿厚度方...该专利属于诺思(天津)微系统有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。
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本发明实施例公开了一种双工器,所述双工器包括:形成于同一衬底上的发射滤波器和接收滤波器,所述发射滤波器和所述接收滤波器包括多个膜层形成的层叠结构,其中,所述发射滤波器的压电层和所述接收滤波器的压电层中掺杂元素,所述发射滤波器的压电层沿厚度方...