下载半导体器件和包括该半导体器件的数据存储系统的技术资料

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提供了一种半导体器件及包括该半导体器件的数据存储系统。该半导体器件包括:堆叠结构;第一分离图案,穿过堆叠结构;第二分离图案,在第一分离图案之间穿过堆叠结构的至少一部分;以及切割沟道结构,穿过堆叠结构并且具有被第二分离图案部分地切割的端部。切...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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