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具有集成薄膜电容器的微电子组件制造技术
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下载具有集成薄膜电容器的微电子组件的技术资料
文档序号:35895413
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本文公开了微电子组件、相关设备和方法。在一些实施例中,微电子组件可以包括在第一电介质层中的管芯;以及电容器,电容器包括在第一电介质层中的第一导电柱和第二导电柱,每个柱具有第一端和相对的第二端,其中,第一导电柱和第二导电柱形成电容器的第一极板...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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