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本发明提供一种晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备，所述晶圆治具结构主要包括了两个可分离的治具。第一治具有一个第一斜面，第二治具含有另一个第二斜面。第一斜面及第二斜面相互平行，并同时倾斜于一个外力施压的方向。当第一治具及第二治具相互靠合...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。

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