温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种对位喷嘴夹具，用于对包括对位喷嘴区块的光刻胶涂布机臂进行定心。对位喷嘴夹具还包括：内窥镜固持件，可移除地固定到对位喷嘴区块的底部；内窥镜；以及对位标记，与对位喷嘴区块相对地可移除地耦合到内窥镜固持件。对位喷嘴夹具由涂布机臂从喷嘴槽取出，...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。