一种对位喷嘴夹具，用于对包括对位喷嘴区块的光刻胶涂布机臂进行定心。对位喷嘴夹具还包括：内窥镜固持件，可移除地固定到对位喷嘴区块的底部；内窥镜；以及对位标记，与对位喷嘴区块相对地可移除地耦合到内窥镜固持件。对位喷嘴夹具由涂布机臂从喷嘴槽取出，并转移到相关联工艺室中的夹盘的中心。通过内窥镜，使用对位标记将光刻胶涂布机臂与夹盘的中心对位。对位标记将光刻胶涂布机臂与夹盘的中心对位。对位标记将光刻胶涂布机臂与夹盘的中心对位。
【技术实现步骤摘要】
对位喷嘴夹具、用于光刻胶涂布机臂的定心的方法及系统
[0001]本专利技术实施例涉及一种对位喷嘴夹具、用于光刻胶涂布机臂的定心的方法及系统。
技术介绍
[0002]以下涉及光刻、半导体制作及光刻胶材料的应用。光刻胶(Photoresist，PR)是半导体工业中至关重要的元素，且在半导体制作工艺的各个阶段期间用于在晶片上形成图案。随着晶片生产中光刻工艺的成熟，光刻胶的用量减少。由于光刻胶用量的减少，用以将光刻胶施加到晶片上的光刻胶喷嘴尖端的大小也减小。光刻胶的放置精度变得更高，且因此光刻胶喷嘴尖端的定心变得更加重要。
技术实现思路
[0003]根据本专利技术的实施例，提供一种用于光刻胶涂布机臂的定心的方法。所述方法包括：从喷嘴槽取出对位喷嘴夹具，所述对位喷嘴夹具具有与所述对位喷嘴夹具耦合的内窥镜。所述方法还包括通过所述光刻胶涂布机臂将所述对位喷嘴夹具朝相关联工艺室的夹盘的中心移动。另外，所述方法包括通过所述内窥镜将所述光刻胶涂布机臂与所述夹盘的中心对位。
[0004]根据本专利技术的实施例，提供一种包括对位喷嘴区块的对位喷嘴夹具。所述对位喷嘴夹具还包括可移除地紧固到所述对位喷嘴区块的底部的内窥镜固持件。另外，所述对位喷嘴夹具包括与所述对位喷嘴区块相对地可移除地耦合到所述内窥镜固持件的对位标记。
[0005]根据本专利技术的实施例，提供一种用于光刻胶涂布机臂定心的系统。所述系统包括用于对光刻胶涂布机臂进行定心的对位喷嘴夹具。所述系统还包括：喷嘴槽，被配置成存储至少一个光刻胶喷嘴总成及所述对位喷嘴夹具。所述系统还包括：内窥镜，可移除地耦合到所述对位喷嘴夹具；以及观察屏幕，与所述内窥镜进行通信。所述系统还包括：喷嘴固持件区块锁气缸，设置在所述光刻胶涂布机臂的一个端上。在所述系统中，所述对位喷嘴夹具或所述至少一个光刻胶喷嘴总成由所述喷嘴固持件区块锁气缸进行紧固。
附图说明
[0006]结合附图阅读以下详细说明，会最好地理解本公开的各个方面。应注意，根据本行业中的标准惯例，各种特征并非按比例绘制。事实上，为使论述清晰起见，可任意增大或减小各种特征的尺寸。
[0007]图1是根据本申请一个实施例的利用对位喷嘴夹具的半导体制作系统的例示。
[0008]图2A是根据本申请一个实施例的空喷嘴槽的例示。
[0009]图2B是根据本申请一个实施例的半导体制作系统所使用的喷嘴槽的例示。
[0010]图3A是根据本申请一个实施例的处于取出/返回位置的涂布机臂的例示。
[0011]图3B是根据本申请一个实施例的处于中心位置的涂布机臂的例示。
[0012]图4是根据本申请一个实施例的光刻胶喷嘴总成的例示。
[0013]图5A是根据本申请一个实施例的对位喷嘴夹具的分解图。
[0014]图5B是根据一个实施例的图5A的对位喷嘴夹具的例示。
[0015]图6是根据本申请一个实施例的对位喷嘴夹具的剖视图。
[0016]图7是示出根据本申请一个实施例的用于光刻胶涂布机臂的定心的方法的流程图。
[0017]图8A到图8C示出根据图7中所示方法的光刻胶涂布机臂定心操作。
[0018]图9是示出根据本申请一个实施例的用于光刻胶涂布机臂的定心的方法的流程图。
[0019]图10A到图10L示出根据本申请一个示例性实施例的图9的流程图中所述的方法。
[0020][符号的说明][0021]100：半导体制作系统/系统
[0022]102：工艺室/室
[0023]104：喷嘴槽/槽
[0024]106A：PR 1喷嘴总成/PR喷嘴总成/光刻胶喷嘴总成/对位喷嘴总成
[0025]106B：PR 2喷嘴总成/PR喷嘴总成/光刻胶喷嘴总成/对位喷嘴总成
[0026]106C：PR 3喷嘴总成/PR喷嘴总成/光刻胶喷嘴总成/对位喷嘴总成
[0027]106D：PR 4喷嘴总成/PR喷嘴总成/光刻胶喷嘴总成/对位喷嘴总成
[0028]108：涂布机臂
[0029]110：喷嘴固持件区块锁气缸
[0030]112：对位喷嘴夹具或总成/喷嘴对位总成/对位喷嘴夹具/喷嘴对位区块
[0031]114：内窥镜
[0032]116：观察屏幕
[0033]118：夹盘
[0034]120：上/下气缸
[0035]122：夹盘真空孔/真空孔
[0036]124、126：轨道
[0037]200：保持孔
[0038]202：定位凸片
[0039]204：台车
[0040]400：喷嘴固持件区块
[0041]402：PR喷嘴管道
[0042]404：喷嘴尖端
[0043]500：对位区块/对位喷嘴区块/对位固持件区块/区块
[0044]502：内窥镜固持件
[0045]504：对位标记
[0046]506：透镜
[0047]508：对位标记螺钉
[0048]510：固定螺钉
[0049]512：标记
[0050]700：流程图
[0051]702、704、706、708、710、712、714、902、904、906、908、910、912、914、916、918、920、922、924、926、928、930、932、934、936、938：操作900：方法
[0052]1000、1002、B、C：保持螺钉
[0053]1004、A：间隙
[0054]B、C：保持螺钉
[0055]D、F：直径
[0056]X、Y：轴
具体实施方式
[0057]以下公开内容提供用于实施所提供主题的不同特征的许多不同的实施例或实例。以下阐述组件及布置的具体实例以简化本公开。当然，这些仅为实例而非旨在进行限制。举例来说，以下说明中将第一特征形成在第二特征之上或第二特征上可包括其中第一特征与第二特征被形成为直接接触的实施例，且也可包括其中第一特征与第二特征之间可形成有附加特征从而使得所述第一特征与所述第二特征可不直接接触的实施例。另外，本公开可能在各种实例中重复使用参考编号和/或字母。这种重复使用是出于简洁及清晰的目的，而不是自身指示所论述的各种实施例和/或配置之间的关系。
[0058]此外，为易于说明，本文中可能使用例如“在...之下(beneath)”、“在...下方(below)”、“下部的(lower)”、“在...上方(above)”、“上部的(upper)”等空间相对性用语来阐述图中所示的一个元件或特征与另一(其他)元件或特征的关系。所述空间相对性用语旨在除图中所绘示的取向外还囊括器件在使用或操作中的不同取向。装置可具有其他取向(旋转90度或处于其他取向)，且本文中所使用的空间相对性阐述语可同样相应地进行解释。
[0059]本申请的说明书及权利要求书中的数值应理解为包括当减少到相同数目的有效数字本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于光刻胶涂布机臂的定心的方法，其中，包括：从喷嘴槽取出对位喷嘴夹具，所述对位喷嘴夹具具有与所述对位喷嘴夹具耦合的内窥镜；通过所述光刻胶涂布机臂将所述对位喷嘴夹具朝相关联工艺室的夹盘移动；以及使用所述内窥镜将所述光刻胶涂布机臂与所述夹盘的中心对位。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述对位喷嘴夹具包括用以固持所述内窥镜的内窥镜固持件及贴附到所述内窥镜固持件的对位标记，所述夹盘还包括定位在所述夹盘的所述中心处的真空孔，其中将所述光刻胶涂布机臂对位还包括：通过与所述内窥镜进行通信的观察屏幕来产生相对于所述真空孔的所述对位标记的图像。3.根据权利要求2所述的方法，还包括：调整所述光刻胶涂布机臂的X轴位置或Y轴位置中的至少一者，其中调整所述X轴位置还包括：通过相关联的马达来移动所述光刻胶涂布机臂。4.根据权利要求1所述的方法，其中，还包括：从所述喷嘴槽移除至少一个光刻胶喷嘴总成；以及以所述对位喷嘴夹具置换被移除的所述至少一个光刻胶喷嘴总成。5.根据权利要求1所述的方法，其中所述取出步骤还包括：将所述对位喷嘴夹具紧固在所述光刻胶涂布机臂的喷嘴固持件区块锁气缸中。6.一种对光刻胶涂布机臂进行定心的对位喷嘴夹具，其中，包括：对位喷嘴区块；内窥镜固持件，可移除地紧固到所述对位喷嘴区块的底部；以及对位标记可移除地耦合到与所述对位喷嘴区块相对的所述内窥镜固...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖恒纬，陈儒鸿，陈诗云，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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