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三维存储器及其制作方法、存储器系统技术方案
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文档序号:35873807
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本公开实施例公开了一种三维存储器的制作方法,包括:提供半导体层;半导体层包括沿第一方向排布的第一区域、第二区域、第三区域;第一方向垂直于第二方向,第二方向为半导体层的厚度方向;在半导体层上形成包括绝缘层和牺牲层交替层叠的堆叠结构;形成贯穿堆...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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