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本发明涉及一种聚酰亚胺薄膜的厚度测量方法，步骤一：聚酰亚胺前驱体溶液旋涂在SiO2/Si基底上，一次加热实现薄膜半固化得到半固化薄膜基底；步骤二：对半固化薄膜基底进行裁切得到截断面，二次加热得到全固化薄膜，然后进行热酰亚胺化形成聚酰亚胺薄膜...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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