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本申请公开了一种扩散炉，包括控制机台、真空管路以及集线器，集线器包括壳体、设置于壳体的多个第一接线口以及多个第二接线口，第一接线口与第二接线口一一对应，两者之间包括线材通道，控制机台连接有第一线材，真空管路连接有第二线材，第一线材伸入第一接...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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