扩散炉制造技术

本申请公开了一种扩散炉，包括控制机台、真空管路以及集线器，集线器包括壳体、设置于壳体的多个第一接线口以及多个第二接线口，第一接线口与第二接线口一一对应，两者之间包括线材通道，控制机台连接有第一线材，真空管路连接有第二线材，第一线材伸入第一接线口且部分容纳于线材通道，第一线材与第二线材通过第二接线口相连接。根据本申请实施例的扩散炉，能够提高维护保养的工作效率。能够提高维护保养的工作效率。能够提高维护保养的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
扩散炉


[0001]本申请属于扩散炉
，尤其涉及一种扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉包括真空管路，真空管路具有多段，每一段真空管路闭环控制温度，以保持温度恒定，避免内部沉积反应物。真空管路的每一段都包裹有加热带，因此，每一段真空管路都连接有加热带的电源线以及控制真空管路的热电偶接头，以与提供电源以及热电偶接线的控制机台相连接。
[0003]为了保证扩散炉的性能，需要时时对真空管路进行维护保养，每次维护保养都需要拆除加热带以更换真空管路，因此，也需要一并拆除与其连接的电源以及热电偶接线，在更换完毕后进行重新连接。在相关技术中，由于电源以及热电偶接线的摆放位置不固定，常需要在每次拆除后对其进行重新识别，以测试连接是否正确，使得维护保养效率较低。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种扩散炉，使得扩散炉的维护保养便捷且成本较低。
[0005]本申请实施例提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉，其特征在于，包括：控制机台；真空管路；以及集线器，包括壳体、设置于所述壳体的多个第一接线口以及多个第二接线口，所述第一接线口与所述第二接线口一一对应，所述第一接线口与所述第二接线口之间包括线材通道；所述控制机台连接有第一线材，所述真空管路连接有第二线材，所述第一线材伸入所述第一接线口且部分容纳于所述线材通道，所述第一线材与所述第二线材通过所述第二接线口相连接。2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括第一接头以及第二接头，所述第一接头设置于所述控制机台与所述集线器之间，多个所述第二接头间隔设置于所述真空管路。3.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，所述第一线材包括第一总段以及多个第一分段，所述第一总段连接于所述控制机台以及所述第一接头之间，多个所述第一分段连接于所述第一接头以及所述集线器的多个所述第一接线口之间。4.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，所述第二线材包括多第二子线，所述第二子线沿所述真空管路延伸，一端连接于所述第二接头，另一端连接于所述第二接线口。5.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一接线口以及所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：范宜灏，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：