下载压电器件的技术资料

文档序号:35811101

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压电器件(100)具备:支承基板(110);中间层(140),配置在支承基板(110)上的第1区域(RG1);压电层(130),配置在中间层(140)上;功能元件(120),形成在压电层(130)上;以及绝缘层(150)。绝缘层(150)在...
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