压电器件制造技术

压电器件(100)具备：支承基板(110)；中间层(140)，配置在支承基板(110)上的第1区域(RG1)；压电层(130)，配置在中间层(140)上；功能元件(120)，形成在压电层(130)上；以及绝缘层(150)。绝缘层(150)在支承基板(110)上配置在与第1区域(RG1)相邻的第2区域(RG2)。第2区域(RG2)中的支承基板(110)的表面粗糙度(R2)大于第1区域(RG1)中的支承基板(110)的表面粗糙度(R1)。糙度(R1)。糙度(R1)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电器件


[0001]本公开涉及压电器件，更特定地，涉及用于降低在压电器件中产生的高阶模式的杂散的技术。

技术介绍

[0002]已知有在压电薄膜上形成了功能元件的压电器件。例如，在国际公开第2015/098678号说明书(专利文献1)公开了在多层膜上形成了梳齿状的IDT(Interdigital Transducer，叉指换能器)电极的弹性波装置，该多层膜在由低声速膜和高声速膜形成的层叠膜上层叠了压电薄膜。
[0003]在国际公开第2015/098678号说明书(专利文献1)公开的弹性波装置中，在支承基板上未形成上述的多层膜的区域形成有绝缘层，在该绝缘层上形成有用于连接IDT电极和外部端子的布线电极。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第2015/098678号说明书

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]在如国际公开第2015/098678号说明书(专利文献1)所公开的具有多层膜的弹性波装置(压电器件)中，与基于IDT电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电器件，具备：支承基板；中间层，配置在所述支承基板上的第1区域；压电层，配置在所述中间层上；功能元件，形成在所述压电层上；以及绝缘层，在所述支承基板上，配置在与所述第1区域相邻的第2区域，所述第2区域中的所述支承基板的表面粗糙度大于所述第1区域中的所述支承基板的表面粗糙度。2.根据权利要求1所述的压电器件，其中，所述第2区域包含与所述第1区域相邻的第1部分以及比所述第1部分远离所述第1区域的第2部分，所述第1部分中的所述支承基板的表面粗糙度大于所述第2部分中的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边宗久，谷口康政，大门克也，冈田拓郎，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：