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本实用新型提供一种阀门组件、阀门装置及半导体设备平台，所述阀门组件设置于传输腔和工艺腔之间；所述阀门组件包括：主体，主体包括上表面、第一表面和第二表面，第一表面与第二表面相对，上表面与第一表面和第二表面连接，且第一表面与工艺腔连接，第二表面...
该专利属于江苏天芯微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天芯微半导体设备有限公司授权不得商用。

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