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三维测量装置(101)具备：一个或多个光源部(102)，其对被测量物(SA)照射具有规定图案的测量光(105)；一个或多个摄像部(103)，其对被照射了测量光(105)的被测量物(SA)进行摄像；测量部(104)，其基于摄像部(103)的摄...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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