三维测量装置制造方法及图纸

技术编号:35760736 阅读:35 留言:0更新日期:2022-11-26 19:10
三维测量装置(101)具备:一个或多个光源部(102),其对被测量物(SA)照射具有规定图案的测量光(105);一个或多个摄像部(103),其对被照射了测量光(105)的被测量物(SA)进行摄像;测量部(104),其基于摄像部(103)的摄像结果测量被测量物(SA)的三维形状,光源部(102)由M点振荡的S-iPMSEL(1)构成。由M点振荡的S-iPMSEL(1)构成。由M点振荡的S-iPMSEL(1)构成。

【技术实现步骤摘要】
三维测量装置
[0001]本申请是申请日为2021年2月18日、申请号为202110187715.2、专利技术名称为三维测量装置的专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及一种三维测量装置。

技术介绍

[0003]作为现有的三维测量法,有例如美国专利申请公开第2008/0240502号说明书(专利文献1)所记载的方法。在该专利文献1的方法中,将随机圆点图案照射到被测量物,通过两台摄像头分别对同位置的圆点图案进行摄像。然后,基于两个圆点图案的视差,根据三角测量原理实施被测量物的三维测量。
[0004]另外,例如日本特开2011-242178号公报(专利文献2)所记载的方法是使用相移法的测量方法。在该专利文献2的方法中,准备具有被投影格子图案的基准面的基准平板,通过工作台使该基准平板沿法线方向平行移动。对被投影到基准面的格子图案的图像和被投影到被测量物的格子图案的图像进行摄像,使用使格子图案的相位和空间坐标对应的表算出被测量物的空间坐标。

技术实现思路

[0005]在上述的专利文献1的方法中,使用投影仪作为光源本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三维测量装置,其中,具备:多个光源部,其对被测量物照射具有规定图案的测量光;摄像部,其对被照射了所述测量光的所述被测量物进行摄像;及测量部,其基于所述摄像部的摄像结果测量所述被测量物的三维形状,所述测量光的所述规定图案包含条形图案,自所述多个光源部照射的所述测量光的所述条形图案分别具有不同的图案,所述多个光源部沿平行于所述条形图案中的条纹的方向排列,所述测量部基于使用所述条形图案的三维形状测量法测量所述被测量物的三维形状。2.根据权利要求1所述的三维测量装置,其中,所述多个光源部分别由M点振荡的S-iPMSEL构成。3.根据权利要求1或2所述的三维测量装置,其中,所述测量光的所述规定图案为使周期性的所述条形图案和随机圆点图案重叠的重叠图案,所述测量部基于使用所述重叠图案的相移法测量所述被测量物的三维形状。4.根据权利要求1或2所述的三维测量装置,其中,自所述多个光源部照射的所述测量光的所述条形图案是分别包含不同的格雷码的格...

【专利技术属性】
技术研发人员:广瀬和义龟井宏记杉山贵浩渡边明佳
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:

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