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本发明涉及半导体晶圆检测技术领域，公开了一种面阵图像处理方法、装置、设备及存储介质。该方法通过计算待扫描晶圆盘的扫描路径，计算扫描路径中每一行的多个触发点坐标位置，根据扫描路径移动模组，以带动待扫描晶圆盘移动，待扫描晶圆盘放置在模组上，当模...
该专利属于熵智科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过熵智科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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