下载包括具有气隙的坝结构的半导体器件和包括其的电子系统的技术资料

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一种半导体器件和包括其的电子系统,该半导体器件包括外围电路结构、半导体层、源极导电层、连接模层、支撑导电层、掩埋绝缘层、栅极堆叠结构、模结构、穿过栅极堆叠结构的沟道结构和支撑物层、穿过模结构和掩埋绝缘层的通孔通路、在栅极堆叠结构和模结构之间...
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