下载一种压力传感器的技术资料

文档序号:35727706

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本实用新型涉及压力传感器技术领域,公开一种压力传感器,包括依次叠设的:第一玻璃层,其上设有压力孔;硅衬底,其上设有压力腔,硅衬底正对压力腔的区域形成能够承受外界压力的感压膜片,硅衬底上设有压敏电阻和电连接层;绝缘层,形成在硅衬底上,绝缘层上...
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