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本发明提供了一种肟磺酸酯化合物、含其的抗蚀剂组合物、电子器件及应用。肟磺酸酯化合物包括通式(A)所示的化合物。通式(A)所示化合物属于非离子型光产酸剂，具有吸光性基团和产酸性基团，磺酸酯基与肟结构直接相连，在活性能量射线照射下能够发生N温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种肟磺酸酯化合物、含其的抗蚀剂组合物、电子器件及应用。肟磺酸酯化合物包括通式(A)所示的化合物。通式(A)所示化合物属于非离子型光产酸剂，具有吸光性基团和产酸性基团，磺酸酯基与肟结构直接相连，在活性能量射线照射下能够发生N