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一种可用于低温固态互连技术的表面态纳米氧化银的制备方法技术
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下载一种可用于低温固态互连技术的表面态纳米氧化银的制备方法的技术资料
文档序号：35638363
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本发明涉及全金属固态互连领域，具体涉及一种可用于低温固态互连技术的表面态纳米氧化银的制备方法。表面态纳米氧化银的制备方法包括：采用微波富氧等离子体处理银表面，制得表面态纳米氧化银；所述微波富氧等离子体由氧气与惰性气体通过辉光放电形成。银
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。
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