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本公开是关于一种晶圆检测方法和装置、计算机可读存储介质及电子设备，涉及半导体设备技术领域。该晶圆检测方法包括：建立晶圆扫描条件数据库；在晶圆检测设备上装载待测晶圆并对准，获取待测晶圆的检索参量，检索参量与晶圆扫描条件数据库中的扫描条件相对应...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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