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本实用新型提供了一种承片台，包括基台和支撑件；所述基台的下表面设置有若干个支撑槽，所述支撑槽内具有第一平面和第一曲面，所述第一曲面指向第一平面的方向与所述基台旋转时的转动方向一致；所述支撑件包括若干个与各所述支撑槽一一配合的支撑杆，所述支撑...
该专利属于成都士兰半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都士兰半导体制造有限公司授权不得商用。

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