下载存储结构及其制造方法的技术资料

文档序号:35546222

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本公开是关于一种存储结构及其制造方法,该制造方法包括:提供衬底,在所述衬底上形成阵列排布的多个分立的有源区;在所述衬底中形成多条埋入式字线,每个所述有源区仅与一条所述字线相交,所述字线沿第一方向延伸,所述第一方向倾斜于所述有源区的延伸方向;...
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