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本实用新型公开了一种高性能碳化硅粉末加工用研磨设备,涉及粉末加工设备技术领域。本实用新型包括底板、研磨箱和粉碎箱,研磨箱下端中部开设有第一活动口,研磨箱上端左侧开设有通口,第一活动口下端设置有第一电机,第一电机转轴端穿过第一活动口,研磨箱内...该专利属于山西天成半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西天成半导体材料有限公司授权不得商用。
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