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半导体结构的形成方法及半导体结构技术
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文档序号:35443039
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本公开提供了一种半导体结构的形成方法及半导体结构,涉及半导体技术领域,其中,半导体结构的形成方法包括:提供衬底;在衬底的表面形成第一介质层;基于第一掩膜层定义的第一图案刻蚀第一介质层,暴露衬底的部分表面;在第一介质层的表面和暴露出的衬底的部...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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