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去除加工装置制造方法及图纸
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下载去除加工装置的技术资料
文档序号:35436568
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去除加工装置具有台、多个卡盘、喷嘴以及台罩。所述台水平地配置,并以铅垂的旋转中心线为中心旋转。多个所述卡盘绕所述台的旋转中心线空开间隔地配置。所述喷嘴对由所述卡盘保持着的基板供给加工液。所述台罩在所述台的上方承接所述加工液。所述台罩具有越远...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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