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本实用新型公开了一种用于放置硅衬底的石墨基座，包括由石墨制成的基座本体(1)，所述基座本体(1)上设置有用于容纳衬底的圆形凹槽(2)，其特征在于：所述圆形凹槽(2)的边缘处设置有锥面台阶(3)，所述锥面台阶(3)远离所述圆形凹槽(2)圆心的...该专利属于湖南联合半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南联合半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于放置硅衬底的石墨基座，包括由石墨制成的基座本体(1)，所述基座本体(1)上设置有用于容纳衬底的圆形凹槽(2)，其特征在于：所述圆形凹槽(2)的边缘处设置有锥面台阶(3)，所述锥面台阶(3)远离所述圆形凹槽(2)圆心的...