温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种晶圆移动工作台，包括晶圆夹持结构和调节机构，晶圆夹持结构用于卡持晶圆；调节机构连接于晶圆夹持结构，调节机构用于调节晶圆夹持结构的位置，以实现晶圆夹持结构沿第一方向和第二方向的移动。晶圆夹持结构用于卡持晶圆，调节机构连接于晶...
该专利属于深圳市联得半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市联得半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。