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本发明提供一种薄晶圆吸附盘及吸附系统，薄晶圆吸附盘包括：吸附盘本体，包括吸附面和环绕所述吸附面的侧面，所述吸附盘本体用于吸附不同尺寸的薄晶圆；多层吸附通路，包括设置于所述侧面的多层通路入口，所述吸附通路从所述通路入口平行于所述吸附面延伸，其...
该专利属于长春光华微电子设备工程中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春光华微电子设备工程中心有限公司授权不得商用。

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