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本发明提供一种缺陷检查装置以及缺陷检查方法，其在合成图像中能够检查多种多样的缺陷种类。该缺陷检查装置将来自第一检测器的第一检测信号和来自第二检测器的第二检测信号以第一合成比率进行合成而生成第一合成图像，并且将所述第一检测信号和所述第二检测信...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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