温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种归一化能量测试装置及光学测量系统，所述装置包括：可调节光阑，用于调节光源传播光束的尺寸；两块反射镜，用于将被截止传输的部分光束以相同的入射角反射到能量探测器上；所述两块反射镜沿所述可调节光阑的中间开口的轴向对称设置于所述可调节...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。