一种归一化能量测试装置及光学测量系统制造方法及图纸

本公开涉及一种归一化能量测试装置及光学测量系统，所述装置包括：可调节光阑，用于调节光源传播光束的尺寸；两块反射镜，用于将被截止传输的部分光束以相同的入射角反射到能量探测器上；所述两块反射镜沿所述可调节光阑的中间开口的轴向对称设置于所述可调节光阑开口的边沿；两个第一能量探测器，用于探测所述两块反射镜的反射光。所述系统搭载了所述归一化能量测试装置，还包括：光源腔室，用于产生辐射光源；光束处理腔室，用于将辐射光源产生的光束处理成测试所需的光束；第一插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光束处理腔室；光学测量腔室，用于测量待测光学元件的性能参数；第二插板阀，用于分隔所述光束处理腔室和所述光学测量腔室。光学测量腔室。光学测量腔室。

【技术实现步骤摘要】
一种归一化能量测试装置及光学测量系统


[0001]本公开涉及光学测量
，更为具体来说，本公开涉及一种归一化能量测试装置及光学测量系统。

技术介绍

[0002]光刻技术的发展，尤其是现在已经用于量产的极紫外光刻技术，对极紫外光学元件如极紫外反射镜、极紫外探测器等的测量精度需求不断提高。在进行光学测量中，稳定的极紫外光源是最为理想的，但实际不管是放电等离子体(DPP)光源、激光产生等离子体(LPP)光源，还是大型装置如同步辐射源(SR)、自由电子激光光源(FEL)等，输出能量都会有波动，极紫外光源的能量稳定性会直接导致测量结果不确定度下降，所以在高精度的极紫外光学测量中，需要实时监测能量的变化趋势，以便对实验过程中能量的大小进行校正。对于可见光波段或者深紫外波段，可以通过半透半反的分光镜片进行分光，一束光Beam1用于变化监测，另一束Beam2光用于实验测量，监测到的Beam1的能量变化用于对测量光束Beam2能量进行归一化，从而降低光源波动对测量结果的影响。但对于极紫外波段而言，该波段几乎在所有物质都会被吸收，所以没有对应的半透半反分光镜可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种归一化能量测试装置，其特征在于，包括：可调节光阑，用于调节光源传播光束的尺寸；两块反射镜，用于将被截止传输的部分光束以相同的入射角反射到能量探测器上；所述两块反射镜沿所述可调节光阑的中间开口的轴向对称设置于所述可调节光阑开口的边沿。两个第一能量探测器，用于探测所述两块反射镜的反射光。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述两块反射镜均为平面反射镜；两块平面反射镜的入射角θ的范围为：15
°
≤θ≤40
°
。3.根据权利要求1或2任一项中所述的装置，其特征在于，所述两个第一能量探测器沿所述可调节光阑的中间开口的轴向对称设置，分别接受所述两块反射镜反射的光源光束。4.一种光学测量系统，其特征在于，搭载了如权利要求1～3任一项中所述的归一化能量测试装置，包括：光源腔室，用于产生辐射光源；光束处理腔室，用于将辐射光源产生的光束处理成测试所需的光束；第一插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光束处理腔室；光学测量腔室，用于测量待测光学元件的性能参数；第二插...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢婉露，吴晓斌，沙鹏飞，王魁波，韩晓泉，李慧，罗艳，马赫，谭芳蕊，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：