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集成电路装置、半导体基板和测试系统制造方法及图纸
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文档序号:35258311
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公开了一种集成电路装置、半导体基板和包括集成电路装置的测试系统。该集成电路装置包括:电源端子,其被配置为接收源电压;电源通孔,其连接至电源端子并穿过多个层中的至少一个;多个感应通孔,其与电源通孔隔开布置并穿过多个层中的至少一个;多条布线,其...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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