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一种半导体元件的制造设备、半导体基材的检测方法及系统，半导体元件的检测设备包含配置以支撑基材的旋转座以及喷嘴臂。喷嘴臂包含喷嘴及光监测装置，光监测装置包含激光发射器以及多个光感测器的阵列排列在喷嘴臂中且朝向旋转座。光监测装置配置以从激光发射...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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