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本实用新型提供一种改进型的硅片清洗的硅片保持装置，包括清洗外框，振动电机，超声波生成器，超声波换能器，升降气缸，L型连接板，L型存放架，便拆卸存放架结构，废料导出架结构，吹风机和缓冲支架结构，所述的清洗外框的下部左右两侧螺栓安装有振动电机；...
该专利属于无锡瑞达半导体专用设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡瑞达半导体专用设备有限公司授权不得商用。

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