温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供了一种抛光液输送装置以及化学机械抛光设备，应用于化学机械抛光设备，抛光液输送装置包括输液机构以及遮挡件，输液机构具有出液口，出液口用于向化学机械抛光设备的抛光垫喷洒抛光液；遮挡件设置于出液口喷洒抛光液的路径上，遮挡件具有用于...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。