下载半导体结构及其形成方法、堆叠结构的技术资料

文档序号:35157090

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本发明涉及一种半导体结构及其形成方法。其中,半导体结构包括:基片,包括衬底以及介质层,衬底具有相对设置的第一正面与第一背面,介质层位于第一正面;连通孔,贯通衬底,且延伸至介质层;第一绝缘层,位于连通孔内壁表面;保护阻挡层,位于第一绝缘层表面...
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