下载一种碳化室头尾焦清理装置的技术资料

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一种碳化室头尾焦清理装置,包括:地轨组件;机械臂,机械臂的一端驱动连接于地轨组件,以在地轨组件的驱动下沿水平方向运动;清焦组件,清焦组件驱动连接于机械臂的另一端,以在机械臂的驱动下多自由度运动;其中,清焦组件包括清焦板、缓冲组件和连接法兰,...
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