下载支撑片、保护膜形成用复合片及装置的制造方法的技术资料

文档序号:35055110

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本发明提供一种能够兼顾片的拉出不良与隔着基材观察时的激光打标的辨认性的支撑片、具备该支撑片与保护膜形成膜的保护膜形成用复合片、以及半导体装置等装置的制造方法。所述支撑片具有基材与形成在基材的一个主面上的粘着剂层,基材的未形成粘着剂层的主面上...
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